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低压扩散磷源恒温设备
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低压扩散磷源恒温设备

  精密型恒温箱

  技术规格书

  一、型号及规格

  1、型 号:TGDW-100L系列(源瓶规格:1.5L)

  2、工作室尺寸(mm):(D×W×H) 300×400×800

  外形尺寸(mm):(D×W×H) 510×1100×1200

  3、温度范围:20±2℃,可通讯显示于主机台

  4、测温范围:0℃~+100℃

  5、升温速率:≤0.5℃/min(额定负载下,均值)

  6、降温速率:≤0.1~0.5℃/min(额定负载下,均值)

  7、冷机响应时间:≤5 S

  8、温度波动度:±0.2℃(恒定后测得)

  9、温度精度:0.1℃

  10、Uptime≥99.5%

  11、该恒温箱需自带抽风装置,抽风装置可以与主机台酸排对接,如有POCL3泄露可以检测出来,并设备报警

  12、该恒温箱需有如下功能:超温报警保护器:加热器短路保护/载保护风机过保护压缩机过热保护;压缩机过电流保护 温度降温特性曲线: