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低压管式高温扩散炉
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低压管式高温扩散炉

  摘要

  主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结。

  产品介绍

  产品名称:低压管式高温扩散炉

  设备型号:C1200HF-5

  设备用途:主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结。

  工艺流程:石英舟及硅片准备→插片→上料→选择工艺运行→进舟→抽真空→升温稳定→通氧→通源→推进→恒温→出舟→下舟冷却→测试→卸片

  设备特点:

  1、可配工艺管数为五管;

  2、70~120Ω/□区间的5点方阻均匀性可达到4% 、3%、3%;

  3、磷源节约70%,氮气节约95%,COO优势明显;

  4、产能≥1200片/管 ;

  5、工艺时间80-90min;

  6、可在原有扩散炉上升级改造;

  7、适用于磷扩和硼扩工艺;

  8、炉门密封采用双层结构,确保腔内压力稳定;

  9、可选配(MES接口、自动上下料、上下位机控制、在线倒片机构)。

  核心技术参数

  1、适用硅片尺寸:125mm×125mm/156mm×156mm及非标尺寸硅片;

  2、高方阻,120Ω≤±5%,±3%,±3%(片内,片间,批间)

  3、装片量:≥1200片/管

  4、工作温度范围:600~1200℃;

  5、恒温区长度及精度:±0.5℃/1300mm;

  6、气体流量控制精度: ±1%F.S;

  7、气路系统气密性:1×10-7pa.m3/s;

  8、真空系统漏率:≤4mbar/min(冷态)≤6mbar/min(热态);

  9、压力调节范围:30~800mbar,连续可调;

  10、五点PROFILE热偶串级控温。

  

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